நுண்துளை சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்களின் பண்புகளை ஆராய்தல்

நுண்துளைகளின் சிறப்பு பண்புகள் சிலிக்கான் கார்பைடு மட்பாண்டங்கள்முக்கியமாக அதன் சிறப்பு நுண்துளை அமைப்பு காரணமாக உள்ளது, இது போரோசிட்டி, துளை அளவு மற்றும் விநியோகம் மற்றும் துளைகளின் வடிவம் ஆகியவற்றைக் கொண்டுள்ளது. எனவே, விரும்பிய நுண்துளை அமைப்பைப் பெறுவதற்கு தயாரிப்பு முறை மூலம் அதன் போரோசிட்டி, துளை அளவு மற்றும் விநியோகம் மற்றும் துளை வடிவத்தை ஒழுங்குபடுத்துவது அவசியம். எனவே அதன் தயாரிப்பு முறை ஆராய்ச்சியின் மையமாக உள்ளது.

நுண்ணிய SiC மட்பாண்டங்களின் பண்புகள்

1.துளை பண்புகள்

①போரோசிட்டி

போரோசிட்டி என்பது ஒரு நுண்துளைப் பொருளில் உள்ள நுண்துளைகளால் ஆக்கிரமிக்கப்பட்ட அளவின் மொத்த நுண்துளைப் பொருளின் (திறந்த துளைகள், அரை-திறந்த துளைகள் மற்றும் 3 வகையான மூடிய துளைகள் உட்பட) சதவீதமாகும். நுண்ணிய பொருட்களின் செயல்திறன் முக்கியமாக போரோசிட்டியைப் பொறுத்தது என்று ஆராய்ச்சி காட்டுகிறது.

② துளை உருவவியல்

துளை உருவவியல் என்பது நுண்ணிய பீங்கான்களில் உள்ள துளைகளின் உருவ அமைப்பைக் குறிக்கிறது. துளைகள் சமநிலையான துளைகளாக இருக்கும்போது, ​​பொருளின் ஒட்டுமொத்த செயல்திறன் ஐசோட்ரோபிக் ஆகும்; ஆனால் துளைகள் கோடிட்ட அல்லது தட்டையாக இருக்கும் போது, ​​சிலிக்கான் எதிர்வினை சின்டரிங் நுண்ணிய SiC பீங்கான்களால் தயாரிக்கப்பட்ட மரத்தின் கார்பனைசேஷன் மூலம், துளை அமைப்பு ஒரு குறிப்பிட்ட திசையில் இருக்கும்.

③துளை விட்டம் மற்றும் விநியோகம்

மைக்ரோபோரஸ் பொருட்களுக்கு 2nm க்கும் குறைவான துளை விட்டம், மெசோபோரஸ் பொருட்களுக்கு 2 ~ 50nm இடையே துளை அளவு, மேக்ரோபோரஸ் பொருட்களுக்கு 20nm க்கும் அதிகமான அளவு. நுண்துளை அளவு மற்றும் பரவல் மூலம் செயல்திறன், ஊடுருவல் வீதம் மற்றும் வடிகட்டுதல் செயல்திறன் உள்ளிட்ட செயல்திறனின் அதிக தாக்கம்.

2.இயந்திர பண்புகள்

நுண்துளை SiC பீங்கான்பொருட்கள் உடையக்கூடியவை மற்றும் அவற்றின் இயந்திர பண்புகள் பொதுவாக வளைவு அல்லது சுருக்க வலிமையால் வகைப்படுத்தப்படுகின்றன. போரோசிட்டி மற்றும் தயாரிப்பு முறை நுண்ணிய SiC பீங்கான்களின் இயந்திர பண்புகளில் பெரிய தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது.

3.வெப்ப கடத்துத்திறன்

நுண்துளை மட்பாண்டங்களின் வெப்ப கடத்துத்திறனில் போரோசிட்டி மற்றும் துளை உருவவியல் பெரிய தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது. சீரான துளை விநியோகம் கொண்ட நுண்துளை மட்பாண்டங்களுக்கு, துளை விகிதம் அதிகரிக்கும் போது வெப்ப கடத்துத்திறன் படிப்படியாக குறைகிறது. இருப்பினும், வெவ்வேறு செயல்முறைகளால் தயாரிக்கப்பட்ட நுண்ணிய பீங்கான் பொருட்களின் துளை உருவவியல் காரணமாக, பெரிய வேறுபாடுகள் உள்ளன, எனவே வெப்ப பரிமாற்ற செயல்முறை அதற்கேற்ப மாறி மற்றும் சிக்கலானது.

நுண்துளை SiC மட்பாண்டங்கள்SiC இன் சிறந்த இயற்பியல் பண்புகளான அதிக அடர்த்தி, அதிக குறிப்பிட்ட மேற்பரப்பு, அதிக கடினத்தன்மை, அரிப்பு எதிர்ப்பு, உயர் வெப்பநிலை எதிர்ப்பு, உயர் வெப்ப கடத்துத்திறன், குறைந்த வெப்ப விரிவாக்கம் மற்றும் வெப்ப அதிர்ச்சிக்கு எதிர்ப்பு மட்பாண்டங்களின் நுண்ணிய தன்மையின் திருப்தி.